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ALD前驱体源瓶特点是什么

ALD前驱体源瓶(起泡器)用于固态、液态及气态超纯物料类的封装,涉及微正压、

常压、中低压的危险化学品,所以对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要

求。

ALD前驱体源瓶特点:

所有管件采用316L不锈钢,内部经400目机械抛光和电化学抛光,Ra≦0.25微米;

阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK隔膜阀供选择;

密封垫片选用纯银镀镍垫片;

氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;

可盛装化学品纯度≧99.9995;

总残余元素量≦50PPb;

坠落试验,通过国家商检部门检测;

介质,TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;

可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的交叉清扫处理等;

可提供非标定做。


时间:2019-12-19